罗茨真空泵工作原理

一、罗茨真空泵容积作用原理

罗茨真空泵是按罗茨鼓风机的原理工作的。工作时，被抽气体由进气口进入转子和泵体之间，这时一个转子和泵体把气体与进气口隔开，被隔开的气体在转子连续不断的旋转过程中，被送到排气口。V0 空间是处在密闭状态的，因此，没有压缩与膨胀。但是，当转子的峰部转到排气口边缘时，由于V0部分的压力比排气口处的压力低，为了使相连体积内压力均匀，气体会从排气口处扩散到V0区域，其扩散方向与转子旋转方向相反。逆流冷却真空泵当转子再转动时，把V0处的气体压缩到排气口将其排除。这时转子的另一面与进气口相连部分则吸入气体，当转子不断地旋转时，重复上述抽气过程不断地排出流进来的气体。这种工作过程相当于转子空间由某一最小值增加到值，然后再由值减小到最小值。

二、罗茨真空泵分子作用原理

SR-V罗茨真空泵在入口压力很低情况下工作时，由于转子转速很高(1000r/min-3000r/min),转子表面的线速度接近于分子的热运动速度，这时碰撞在转子上的气体分子被转子携带到压力较高的排气口，再被预真空泵排除。

罗茨真空泵是一种双转子的容积式真空泵，在泵腔内有两个形状对称的转子，转子形状有两叶、三叶和四叶的。两个转子彼此朝相反方向旋转，由轴端齿轮驱动同步转动。转子彼此无接触，其间通常有0.15--1mm的间隙，泵腔靠间隙来密封。

罗茨真空泵泵腔内无摩擦，转子可高速运转，一般为1500-3000r/min，而且不*油润滑，可实现无油清洁的抽气过程。泵的润滑部位于轴承和齿轮，以及动密封处。泵没有往复运动，平稳、转速高、尺寸小，可获得大的抽速。