PPM级双柱惰性气体净化器

惰性气体净化系统-GPH-DHDO

·输入：输入气体纯度要求：<1000>

·输出：清除杂质至<0.1 ppm（o2≤0.1="" ppm="">

·304L不锈钢罐（<10 ra="">

·再生操作简单方便

·内置数字温度控制器和气体流量计控制

·再生后可净化多达80L惰性气体

·设备需在270℃下再生（需使用5N纯度的95％N2 + 5％H2气体）

·220v 50Hz

·功率：500W（加热过程中）

0.5MPa

室温-300℃

<2 x="" 10-9="" atm="" cc/sec="">

控温精度±1 ºC

400mL/min

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

点击查看售后服务承诺书。

·您可以选购精密质子流量计，输入气体更加准确（图一）

·此系统可以和本公司所有的管式炉和CVD系统相连接（图二）

    图一                                 图二

445mm L X 400mm W X 190mm H

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