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罗茨真空泵具有二个转子,通过一对同步反向旋转高精度齿轮驱动,转子在泵腔内旋转,完成吸、排气的过程。转子采用渐开线型线,转动时互相不接触并保持恒定间隙。可与多种前级泵配套,采用风冷或水冷方式和多种密封形式,满足不同工艺和工况要求。
比传统叶型罗茨泵在抽气效率、允许压差、温升、振动、噪声等关键性能指标上都具有明显的技术优势。转子采用高精度齿轮传动和精密轴承支承,噪声低、运转更加平稳,在低入口压力下仍具有较大抽气速率。
转速高、容积率高、温升低、振动小。
结构简单、可靠性好,操作、维护方便。
转子被锁紧,无轴向串动现象、故障率更低。
所有平面静密封采用O型圈密封,可以反复拆装。
主轴采用机械密封,确保泵腔无油和长期无泄漏。
端盖密封可采用机械密封、骨架、活塞环和迷宫密封等多种形式。